[发明专利]特别是用于平版印刷的远紫外光的发生方法和装置

摘要

按照本发明，使激光束(24)与致密的微液滴雾(20)相互作用，此液体是液化的稀有气体。特别使用液体氙(6)，通过气态氙(10)的液化得到液体氙，用气态氙将液体氙加压到5×10⁵～50×10⁵Pa，此液体氙保持在－70～－20℃的温度下，将加压的液体氙注入到最小内径60～600μm的喷嘴(4)中，此喷嘴的开口向着压力等于或小于10^－1Pa的区域。

主权项

1.通过由激光束(24)和靶子之间相互作用生成等离子体产生远紫外区光(30)的方法，此方法的特征在于：该靶子由微细液滴构成的致密的雾(20)组成，此液体是液化的稀有气体，特别是液体氙，通过将稀有气体液化得到此液体，用此稀有气体将该液体加压，在氙气的情况下，加压到5×105～50×105Pa的压力，同时将此液态氙保持在-70℃～-20℃的温度范围，另外选择该气体的压力和温度，使得此稀有气体呈液态，将如此加压的液体注入一个喷嘴(4)，其最小内径为60～600μm，此喷嘴通向一个压力等于或低于10-1Pa的区域，这样就在喷嘴出口的区域形成致密而定向的液化稀有气体滴的雾，其平均颗粒度大于1μm，在氙气的情况下，特别是在5～50μm，此致密的雾形成按照该喷嘴的轴线(X)定向的射流，以及将激光束聚焦在如此得到的致密的雾上，此激光束能够与此致密的雾相互作用，产生远紫外区的光。