[发明专利]脆性材料基板端面部的检查方法及其装置无效
| 申请号： | 02813245.9 | 申请日： | 2002-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1537227A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | 船田秀明;吉村浩昭 | 申请（专利权）人： | 三星宝石工业株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01M11/00;G01B11/30;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的脆性材料基板端面部的检查装置具有，在向预定方向移动的工作台上在水平状态下被载置的脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)上照射光的光源(16a、17a、16b、17b)，以及，接收从脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)反射的反射光的光量检测机构(14a、15a、14b、15b)，当接收的反射光的光量超过预定的上限值、或者低于预定的下限值时，判断为脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)存在缺口。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 端面 检查 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于具备：以水平状态载置脆性材料基板的工作台；使该工作台朝预定方向移动的工作台移动机构；使该工作台沿着水平方向旋转的工作台水平旋转机构；在该脆性材料基板的端面部上照射光的光源；接收被该光源照射从而由该脆性材料基板的端面部反射的反射光的光量检测机构；及，根据由该光量检测机构所接收的来自所述端面部的反射光的光量来判定所述端面部的品质的优劣的判定机构。
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