[发明专利]电镀液的再生方法

摘要

本发明涉及一种沉积金属层的方法及含高氧化态金属离子的溶液的再生方法。为了再生由金属沉积所消耗的锡电镀液的锡离子，在现有技术中已知将电镀液带至金属锡上以导致锡(II)离子形成。然而，因此包含于再生浴中的锡量缓慢并连续地增加。对此问题的解决方式是使用电解再生电池，其提供至少一个辅助阴极及至少一个辅助阳极。用于再生的锡从溶液中被电解沉积到电解再生电池中的至少一个辅助阴极上。将该溶液带至用于再生的锡上，以减少锡(IV)离子形成锡(II)离子。

主权项

1.一种沉积金属层的方法，其包括以下的方法步骤：a.制备含有低氧化态金属离子的金属电镀浴；b.从金属电镀浴中沉积金属层至工件上；c.使金属电镀浴与用于再生的金属接触，还原金属电镀浴中所含的高氧化态金属离子为低氧化态金属离子，其中提供一个包括至少一个辅助阴极及至少一个辅助阳极的电解再生电池，并且用于再生的金属由金属电镀浴电解沉积到至少一个辅助阴极上。