[发明专利]气体传感器及气体传感器的制造方法无效
| 申请号： | 02813610.1 | 申请日： | 2002-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN1524179A | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | 服部章良;待井信幸;堀喜博;胁田克也;笹部茂;明山悠香子;和田智子 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社;松下冷机株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/327 | 分类号： | G01N27/327 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 由于饮食的新鲜度的主观判断多比较模糊，所以利用半导体气体传感器感应新鲜度的技术的研究很活跃。但是，不能够以良好的响应性对蔬菜和水果类的新鲜度的感应很重要的乙烯、乙醇、醛类、硫醇类和胺类等气体进行耐久性优良的气体检测。本发明的气体传感器具备绝缘性基板1、在前述绝缘性基板1上以规定间隔设置的一对薄膜电极2、按至少实质上填充规定间隔的要求设置的具有金属氧化物的气体感应体薄膜3、为了覆盖露出于金属氧化物外部的表面而形成的催化活性保护层5。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.气体传感器，其特征在于，具备绝缘性基板，在前述基板上以规定间隔设置的一对第1电极，按照至少实质上填充前述规定间隔的要求设置的具有金属氧化物的气体感应体，为了覆盖露出于前述金属氧化物外部的表面而形成的及/或为填充存在于前述金属氧化物内部的间隙而形成的催化活性保护层。
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