[发明专利]配有加热器的推杆、电子元件处理设备及温度控制方法无效

专利信息
申请号: 02813836.8 申请日: 2002-07-04
公开(公告)号: CN1526075A 公开(公告)日: 2004-09-01
发明(设计)人: 山下毅 申请(专利权)人: 株式会社爱德万测试
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 李强
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种推杆30,由能够直接接触待测试的电子元件的推杆主体31和33,在推杆主体31、33上提供的热吸收及辐射体35,在推杆主体31上提供的、能够直接或者间接接触待测试的电子元件2加热器311,以及在推杆主体31、33和加热器311之间提供的绝热材料312组成。依照这种推杆30,能够执行对电子元件的温度控制,以便使电子元件接近用于测试的目标规定温度。
搜索关键词: 配有 加热器 推杆 电子元件 处理 设备 温度 控制 方法
【主权项】:
1.一种装备有加热器的推杆,用于将在一个电子元件处理设备中的待测试电子元件的一端推进到一个测试头的一个接触部分中,包括:推杆主体,它能够直接接触所述待测试电子元件;在所述推杆主体上设置的热吸收以及辐射体;在所述推杆主体上设置的加热器,用于使得能够直接或者间接地接触所述待测试电子元件;以及在所述推杆主体和所述加热器之间设置的端绝热材料。
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