[发明专利]处理废气的方法和装置有效
申请号: | 02814181.4 | 申请日: | 2002-11-29 |
公开(公告)号: | CN1863585A | 公开(公告)日: | 2006-11-15 |
发明(设计)人: | 篠原丰司;森洋一;铃木康彦;青野弘;白尾祐司 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | B01D53/34 | 分类号: | B01D53/34;B01D53/68;B01D53/86;F23G7/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王永建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种处理废气的装置,它具有一个预处理部分(1),用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个,所述废气含有氟化合物和CO中的至少一个;一个加热氧化分解部分(2),用于进行所述氟化合物和CO中的至少一个的加热氧化分解,以净化所述废气。该装置具有一个后处理部分(4),用于后处理由加热氧化分解所产生的酸性气体如HF。 | ||
搜索关键词: | 处理 废气 方法 装置 | ||
【主权项】:
1、一种处理废气的方法,所述废气含有氟化合物和CO中的至少一个,所述方法包括:从所述废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个;然后将氧气(O2)和水(H2O)加入所述废气中;随后加热所述废气,以分解或氧化所述废气中的氟化合物和CO中的至少一个;以及将氟化合物分解时所产生的酸性气体从已经分解或氧化的所述废气中除去。
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