[发明专利]表面特性测量方法及坐标测量装置无效
| 申请号： | 02814303.5 | 申请日： | 2002-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1529806A | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | D·费格尔 | 申请（专利权）人： | 沃思测量技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01B5/28;G01B11/30;G01B21/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;赵辛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为了借助于一个坐标测量装置(10)以极其精确的方式、与一个工件的材料特性无关地测量所述工件的表面特性，建议一个可沿坐标轴线(X、Y、Z)移动的扫描成型元件(30)以及可以获得所述元件在工件表面上的运动的光学传感器(32)，其中光学传感器(32)是一个光电子距离传感器，而且成型探头元件(30)相对于距离传感器按照如下方式可调节地进行布置，即所述距离传感器任选地直接测量表面、或测量所述扫描成型元件的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 特性 测量方法 坐标 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.用于测量一个工件的表面特性的方法，所述方法借助于一个坐标测量装置，该坐标测量装置包含有一个支撑在表面上且相对于这个表面可移动的扫描成型元件，使用一个光学传感器直接获得所述扫描成型元件的位置或者至少一个直接配属于该扫描成型元件的标记的位置，其特征在于，一个光电子的扫描传感器用作所述光学传感器，使用该光学传感器有选择地直接测量表面特性，或者通过该光学传感器间接地或直接地进行测量所述扫描元件的位置或配属于所述扫描元件的标记的位置。
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