[发明专利]用于微电子、微型光电子或微型机械器件的支撑件有效
| 申请号： | 02814710.3 | 申请日： | 2002-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN1599806A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 马克·阿米奥提 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L23/26;C23C14/08;C23C16/40 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张祖昌 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明是关于用于制造微电子、微型光电子或者微型机械器件的支撑件(10；60)。所述支撑件(10；60)包括具有支撑元件功能的基体(11，61)，在所述基体上，沉积有离散沉积物(13、13′...；63、63′...)形式的气体吸收材料，该离散沉积物至少部分暴露于所述支撑件(10；60)附近的大气中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微电子 微型 光电子 机械 器件 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造微电子、微型光电子或者微型机械器件的支撑件(10；60)，该支撑件包括具有机械支撑功能的基体(11，61)，其特征在于，在所述基体上，气体吸收材料以离散沉积物(13、13′...；63、63′，...)形式沉积，该离散沉积物至少部分暴露于所述支撑件(10；60)附近的大气中。
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