[发明专利]高温静电夹盘

摘要

一种适用于高温的静电夹盘，该静电夹盘具有可替换的膨胀组件，该膨胀组件起外部管道装置和隔热的作用，位于静电夹盘主体和导热装置之间。该膨胀组件可以容纳静电夹盘主体和导热装置之间的不同热应力，和/或限制静电夹盘组件和导热装置之间的直接热传导。该静电夹盘能够操作在高于200℃的温度，因而该静电夹盘可以用来用等离子体腐蚀材料，例如铂，这种材料需要高温才能挥发难挥发的腐蚀产物，还可用来进行常规的等离子体腐蚀、化学蒸气沉积、溅射、离子注入、灰化等。可取下固定的膨胀组件的新颖设计使得该静电夹盘可以按比例放大，用于较大的工件，可以通过更多的热循环提高耐用性，达到更经济的运行。

主权项

1.一种用在高温真空处理室中的静电夹盘，包括：静电夹盘主体，包括静电夹持电极和选择性加热部件，该电极适合于用静电将基片固定在静电夹盘主体的外表面上；导热装置，该导热装置通过静电夹盘主体和导热装置的隔开表面之间的封闭空间而与静电夹盘主体分开，该导热装置适合于用封闭空间中的导热气体的热传导除去静电夹盘主体的热量；可拆卸连接的膨胀组件，该组件使静电夹盘主体的外周连接于导热装置，该膨胀组件可以接纳静电夹盘组件和导热装置的不同的热膨胀。