[发明专利]多束微加工系统和方法有效
| 申请号： | 02815556.4 | 申请日： | 2002-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1538893A | 公开（公告）日： | 2004-10-20 |
| 发明（设计）人： | 埃利泽·利普曼;兹维·科特勒;亚伯拉罕·格罗斯 | 申请（专利权）人： | 奥博泰克有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/14 | 分类号： | B23K26/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 郭鸿禧;马莹 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 一种把能量传送到基片的系统包括可动态定向辐射能量源，用于提供每一个沿着可动态选择方向传播的数个辐射束。数个束导引单元当中的可独立定位束导引单元起接收辐射束和把它们引向基片上的可选位置的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 多束微 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种把能量传送到基片的系统，包括：至少一个可动态定向辐射能量源，用于提供每一个沿着可动态选择方向传播的数个辐射束；和数个可独立定位束导引单元，所述束导引单元的一些接收所述数个辐射束和把它们引向所述基片上的可选位置。
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