[发明专利]具有改进的蒸气流的十硼烷汽化器无效
| 申请号： | 02815643.9 | 申请日： | 2002-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN1541401A | 公开（公告）日： | 2004-10-27 |
| 发明（设计）人： | A·佩雷尔;B·范德伯格 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供用于离子注入器的离子源，包括：(i)升华器(52)，它具有接收要升华的源材料(68)和升华所述源材料的腔室(66)；(ii)气体注入器(104)，其向腔室(66)注入气体；(iii)离子化室(58)，其用于离子化升华的源材料，所述离子化室远离所述升华器；供给管(62)，其用于将升华器(52)连接到离子化室(58)。向腔室注入的气体可以是氦或氢，用于改善在升华器(52)的壁(64)和源材料(68)之间的传热能力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 蒸气 十硼烷 汽化器 | ||
【主权项】：
1.一种用于离子注入器的离子源(50)，包括：(i)升华器(52)，它具有接收升华的源材料和升华所述源材料的腔室(66)；(ii)气体注入器(104)，其用于向所述腔室(66)注入气体；(iii)离子化室(58)，其用于离子化升华的源材料，所述离子化室远离所述升华器；和(iv)供给管(62)，其用于将所述升华器(52)连接到所述离子化室(58)。
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