[发明专利]实验管理系统、方法与介质无效
| 申请号： | 02815683.8 | 申请日： | 2002-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN1541348A | 公开（公告）日： | 2004-10-27 |
| 发明（设计）人： | B·N·克里希纳穆尔蒂;P·C·霍金斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在自动化环境中为自动进行实验提供系统、方法和介质，而不需要拆分出这一环境中的测试对象(如半导体芯片或芯片)。一个“实验”是利用自动化环境的已有(如预先规定的)工艺的一种预定的偏差。用于实验管理的计算机实现的方法、系统和计算机可读介质，如那些与半导体技术相关的方法、系统和介质。实验命令包括能够在自动化环境中操作的基本工艺的某些偏差。从用户分布列表中获得实验命令的批准，同时允许用户与实验命令附加文档，或可修改实验。将实验命令转换和存储为处理数据，该数据适合于在所述自动化环境中执行。根据处理数据，使得实验与所述基本工艺的至少一部分一起被自动化环境执行。 | ||
| 搜索关键词： | 实验 管理 系统 方法 介质 | ||
【主权项】：
1.一种与自动处理技术有关的用于管理实验的计算机实现的方法，包括以下步骤：(A)接收实验命令，所述实验命令包括偏离可在自动化环境中操作的基本工艺的至少一个偏差；(B)获得所述实验命令的批准；(C)将所述实验命令的至少一部分转换和存储为处理数据，该数据适合于被所述自动化环境执行；和(D)根据所述处理数据，使得所述实验与所述基本工艺的一部分一起被所述自动化环境执行。
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