[发明专利]真空排气装置以及真空排气装置的运转方法有效
| 申请号： | 02815711.7 | 申请日： | 2002-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1541307A | 公开（公告）日： | 2004-10-27 |
| 发明（设计）人： | 柴山浩司;山下祐一;矢作充;田岛孝彦;相川纯一;田中智成;菅家幸雄;深浦裕治 | 申请（专利权）人： | 爱发科股份有限公司 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C29/00;F04C25/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在由多级罗茨型干式真空泵构成的主泵(20)的主体(21)内，分别设置由马达(22)旋转驱动的一对转子R1、R2、R3、R4、R5以及R6。另外，在主体(21)的左端上壁部设置与转子R1的转子室连通的吸入口(23)，具有静音装置(26)的排气配管(25)连接在与最后级的转子R6的转子室的排出侧连通的排出部(24)上，而且通过配管(27)与止回阀(28)连接。该止回阀(28)以通向大气侧的方向为正方向。另外，比主泵(20)的排气量小的辅助泵(30)连接在排出部(24)或中间级的排出部(24′)上。若驱动马达(22)，则通过各转子R1到R6的旋转而排出的气体，从各自的转子室依次向下游侧移送，排出到与吸入口(23)连接的真空处理室。最后级的排出部(24)通过辅助泵(30)的驱动进行减压排气。因此，可以减轻通过最后级的转子R6或中间级的转子R5进行的排气作用的负担。即，可以使马达(22)的电力消耗与以往相比大幅减小。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 排气装置 以及 运转 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空排气装置，其特征在于，辅助泵的吸入侧与主泵的中间级或最后级的泵室的排出侧连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱发科股份有限公司，未经爱发科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02815711.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
