[发明专利]细缝双间隙聚束器以及用于离子注入系统中离子聚束的方法无效
申请号: | 02816274.9 | 申请日: | 2002-08-23 |
公开(公告)号: | CN1545720A | 公开(公告)日: | 2004-11-10 |
发明(设计)人: | K·萨亚达特曼德;W·迪韦吉利奥 | 申请(专利权)人: | 艾克塞利斯技术公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H05H7/18;G21K1/08 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 章社杲 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 公开一种用于线性加速器系统的离子聚束器段,用来使离子注入系统中的离子聚束。该离子聚束器段可以在一个或多个线性加速器段的上游使用,使得线性加速器系统中的离子损失减少。本发明还包括不对称双间隙聚束器段和用以进一步提高离子注入效率的细缝聚束器段。还公开了给离子注入机线性加速器中的离子加速的方法。 | ||
搜索关键词: | 细缝 间隙 聚束器 以及 用于 离子 注入 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.用于沿一通道在离子加速器系统的入口端和加速模块之间的聚合离子的离子聚束器,该聚束器包括:具有细长缝隙开口的第一接地电极,其形成用于具有细长缝隙形的横向剖面的离子束的入口缝隙;具有缝隙开口或圆形开口的第二接地电极,其沿着离子束通道朝着加速模块的方向定位;以及具有细长缝隙开口的可激励电极,其位于第一和第二接地电极之间,并限定其间的间隙,并与一能量源有效连接,并适于在可激励电极及第一和第二接地电极之间的间隙内分别产生调制电场,以将被聚束的离子提供给加速模块。
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