[发明专利]基材上图案层的制作方法有效

专利信息
申请号: 02816319.2 申请日: 2002-08-20
公开(公告)号: CN1545453A 公开(公告)日: 2004-11-10
发明(设计)人: T·卡瓦斯 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41M3/00 分类号: B41M3/00;H01L51/40
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 刘元金;杨九昌
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种基材上图案的制作方法,包含诸如通过喷墨打印在该基材上沉积多滴第一液体材料作为第一沉积层(15);诸如通过喷墨打印在该基材上沉积多滴第二液体材料作为第二沉积层(17)并趁第一材料是液体时与第一材料(15)接触,第一和第二液体材料是互不混溶的;和从所述液体材料中至少一种在该基材上产生一个固体沉积层。在一种较好实施方案中,该方法包含在该基材上喷墨打印多滴与所述第二液体材料不混溶的液体材料作为第三沉积层(16),第三沉积层(16)与第一沉积层(15)间隔一个预定间隙,且第二沉积层(17)是以所述间隙叠加在第一和第三沉积层(15、16)上施用的。这些沉积层中至少一层可以含有一种悬浮液或溶质,且所述固体沉积层可以通过所述液体中至少一种的凝固来形成。适用于薄膜晶体管阵列或其它集成电路的生产。
搜索关键词: 基材 图案 制作方法
【主权项】:
1.基材上图案的制作方法,包含下列步骤:在该基材上沉积多滴第一液体材料作为第一沉积层;在该基材上沉积多滴第二液体材料作为第二沉积层,并趁第一材料是液体时与第一材料接触,第一和第二液体材料是互不混溶的;和在该基材上从所沉积液体材料中至少一种产生一种固体沉积层。
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