[发明专利]制造微机电构件的方法无效
| 申请号： | 02816436.9 | 申请日： | 2002-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN1545484A | 公开（公告）日： | 2004-11-10 |
| 发明（设计）人： | 于尔根·莱布;弗洛里安·比克 | 申请（专利权）人： | 肖特·格拉斯公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张兆东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造微机电构件的方法。为得到一种节省空间的微机电构件触点接通，本发明规定，微机电构件(27)由一个包括第一侧(2)和基本上与第一侧(2)相对的第二侧(4)的基片(6)构成，其中，至少第一侧(2)有至少一个微机电元件(5)，为此，在基片(6)内嵌入至少一个导电通道(8)，它连接第一侧(2)与第二侧(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 微机 构件 方法 | ||
【主权项】：
1.制造微机电构件(27)的方法，所述构件(27)由一个包括第一侧(2)和基本上与第一侧(2)相对的第二侧(4)的基片(6)构成，其中，至少第一侧(2)有至少一个微机电元件(5)，其特征在于：在基片(6)内嵌入至少一个导电的通道(8)，该通道连接第一侧(2)与第二侧(4)。
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