[发明专利]相移波纹聚焦监视器无效
申请号: | 02816700.7 | 申请日: | 2002-02-22 |
公开(公告)号: | CN1547684A | 公开(公告)日: | 2004-11-17 |
发明(设计)人: | B·拉丰丹;J·基;H·利维森 | 申请(专利权)人: | 先进微装置公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 戈泊;程伟 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种光学监视器,其是包括一本体,该本体具有第一复数条平行、实质上不透明且彼此间具有间隙而相分离的线,以及第二复数条平行、实质上不透明且彼此间具有间隙而相分离的线,且介于该第一复数条线与第二复数条线的间具有相对小的角度。当第一复数条线的影像提供于该半导体本体上时,依据该监视器朝向或离开该半导体本体相对的移动,该线影像相应的移动至该半导体本体。第二复数条线的影像提供于该半导体本体上时,依据该监视器朝向或离开该半导体本体以不同的方式相对的移动。于分析前述移动的期间,由该第一与第二复数条线的影像于该半导体本体上形成波纹边缘,藉以实现于该半导体本体上适当的影像聚焦。 | ||
搜索关键词: | 相移 波纹 聚焦 监视器 | ||
【主权项】:
1.一种光学装置,其特征在于具有:光学装置本体;第一复数条形成于光学装置本体上实质上平行、不透明且彼此间具有间隙而相分离的线;以及第二复数条形成于光学装置本体上实质上平行、不透明且彼此间具有间隙而相分离的线,其中,且介于该第一复数条线与第二复数条线的间具有90度外的角度。
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