[发明专利]含有多成分的玻璃基板用的微细加工表面处理液无效
| 申请号： | 02816809.7 | 申请日： | 2002-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN1549798A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 菊山裕久;宫下雅之;籔根辰弘;大见忠弘 | 申请（专利权）人： | 斯特拉化学株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;H01L21/308;H05B33/02;H05B33/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供可以使得含有多成分的例如液晶或者有机EL等平板显示器用的玻璃基板本身不产生结晶析出以及不产生表面粗糙而进行加工的含有多成分的玻璃基板用的具有均匀组成的微细加工表面处理液。该处理液的特征在于，含有氢氟酸、同时含有至少一种以上酸离解常数比氢氟酸大的酸。该处理液为含有氢氟酸、同时含有至少一种以上酸离解常数比氢氟酸大的酸的药液，其特征在于，在酸离解常数比氢氟酸大的所述酸的含量为x、蚀刻玻璃基板的液温下该药液对于热硅氧化膜的蚀刻速率为f(x)[/min]时，该药液以(2/5)*x1＜x＜x2的范围含有酸离解常数比氢氟酸大的所述酸，其中在x＝x1时具有极小值f(x1)、x＝x2时具有f(x)＝{f(x2)}/2。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 成分 玻璃 基板用 微细 加工 表面 处理 | ||
【主权项】：
1.含有多成分的玻璃基板用的微细加工表面处理液，其特征在于，含有F-离子同时含有至少一种以上酸离解常数比氢氟酸大的酸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于斯特拉化学株式会社，未经斯特拉化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02816809.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
