[发明专利]利用激光束和掩模制造抛光垫的方法有效
| 申请号： | 02817163.2 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1549756A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 朴仁河;权太庆;金载晰 | 申请（专利权）人： | 株式会社SKC |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了利用激光束和掩模在抛光垫上形成微孔，通孔和/或沟槽的方法。该方法包括以下步骤：确定要在抛光垫上形成的微孔，沟槽和/或通孔的图案；将确定的图案输入计算机数字控制器(CNC)；选择具有与输入图案相适应微孔，沟槽和/或通孔图案的掩模；和在CNC控制器基于输入图案的控制下，驱动辐射激光束的激光器以及进行三维移动和旋转同时支撑抛光垫的桌面，从激光器向桌面上的抛光垫辐射激光束，同时根据输入的图案移动桌面，在抛光垫上形成对应于确定图案的微孔，沟槽和/或通孔的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光束 制造 抛光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造抛光垫的方法，包括以下步骤：确定要在抛光垫上形成的微孔，沟槽和/或通孔的图案；将确定的图案输入计算机数字控制器(CNC)；选择具有与输入图案相适应微孔，沟槽和/或通孔图案的掩模；和在CNC控制器基于输入图案的控制下，驱动辐射激光束的激光器以及进行三维移动和旋转同时支撑抛光垫的桌面，从激光器向桌面上的抛光垫辐射激光束，同时根据输入的图案移动桌面，在抛光垫上形成对应于确定图案的微孔，沟槽和/或通孔的图案。
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