[发明专利]整体块、化学输送系统及用于输送超纯化学制品的方法

摘要

一种整体块，可连接到一个用来把超纯化学制品从一个液体化学制品容器输送到半导体或光纤制造过程中的使用点的化学制品输送系统上，其中所述整体块是一个用来盛放超纯化学制品的化学制品容器块、一个用来重新填充容器的重新填充容器块、一个用来提供压力的加压气体块、一个用来清洗化学制品的清洗气体块、一个用于废物回收的废物回收块、一个用来产生真空的真空块、一个用来供给溶剂的溶剂供给块、一个用来脱气化学制品的脱气块、一个用来过滤化学制品的过滤块或它们的组合，其中预制整体块。

主权项

1.一种整体块，可连接到一个用来把超纯化学制品从一个液体化学制品容器输送到半导体或光纤制造过程中的使用点的化学制品输送系统上，其中所述整体块是一个用来盛放超纯化学制品的化学制品容器块、一个用来重新填充容器的重新填充容器块、一个用来提供压力的加压气体块、一个用来清洗化学制品的清洗气体块、一个用于废物回收的废物回收块、一个用来产生真空的真空块、一个用来供给溶剂的溶剂供给块、一个用来脱气化学制品的脱气块、一个用来过滤化学制品的过滤块或它们的组合，其中预制整体块，其中化学制品容器块包括：(i)一个第一化学制品容器连接接头，适于连接到一个加压气源上，(ii)一个密封的化学制品容器，(iii)一个第二化学制品容器连接接头，适于连接到一个整体块上，(iv)一根化学制品容器进口导管，连接在第一化学制品容器连接接头与密封的化学制品容器之间，以把加压气体输送到密封的化学制品容器，(v)一根化学制品容器输送导管，连接在密封的化学制品容器与第二化学制品容器连接接头之间，以把超纯化学制品输送到使用点或一个整体块，(vi)一根化学制品容器旁通导管，连接在化学制品容器进口导管与化学制品容器输送导管之间，(vii)可选择地，一根化学制品容器排放导管，在管线中与化学制品容器进口导管或化学制品容器输送导管相连接，及(viii)一个化学制品容器料位指示器，用来监视在密封的化学制品容器中的料位，其中化学制品容器进口导管包括：一个第一化学制品容器接头，适于密封容器的拆除，和一个第一化学制品容器截止阀，连接在第一连接接头与密封的容器之间，其中化学制品容器输送导管包括：一个化学制品容器浸入管，带有延伸到密封的化学制品容器中的第一端，一个第二化学制品容器截止阀，连接在第二化学制品容器连接接头与密封的化学制品容器之间，及一个第二化学制品容器接头，适于密封的化学制品容器的拆除，连接在第二化学制品容器连接接头与密封的化学制品容器之间，以及其中化学制品容器排出导管包括：一个第五化学制品容器连接接头，和一个化学制品容器控制阀，在管线中与第五化学制品容器连接接头和化学制品容器进口导管或化学制品容器输送导管连接；其中重新填充容器块包括：(i)一个第一重新填充容器连接接头，适于连接到一个整体块上，(ii)一个密封的重新填充容器，(iii)一根重新填充容器化学制品进口导管，连接在第一重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，以把超纯化学制品输送到密封的重新填充容器，(iv)一个第二重新填充容器连接接头，适于连接到一个整体块上，(v)一根气体导管，连接在第二重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，以把加压气体输送到密封的重新填充容器，(vi)一个第三重新填充容器连接接头，适于连接到一个整体块上，(vii)一根重新填充容器化学制品输送导管，连接在第三重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，以把化学制品输送到使用点或一个整体块，及(viii)一个重新填充容器料位监视器，用来监视在密封的重新填充容器中的料位，其中重新填充容器化学制品进口导管包括：一个第一重新填充容器控制阀，连接在第一重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，一个第一重新填充容器接头，连接在第一重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，及一个第一重新填充容器截止阀，连接在第一重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，其中气体导管包括：一个第四重新填充容器连接接头，适于连接到一个整体块上，连接在第二重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，一个针阀，连接在第二重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，一个第二控制阀，连接在第二重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，一个第二重新填充容器接头，连接在第二重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，及一个第二重新填充容器截止阀，连接在第二重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，以及其中重新填充容器化学制品输送导管包括：一个第三重新填充容器控制阀，连接在第三连接接头与密封的容器之间，一个第三重新填充容器接头，适于密封容器的拆除，连接在第三连接接头与密封的容器之间，一个第三重新填充容器截止阀，连接在第三重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，一个第四重新填充容器截止阀，连接在第三重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，一个端口，连接在第三重新填充容器连接接头与密封的重新填充容器之间，及一根浸入管，带有延伸到密封的重新填充容器中的第一端，并且与重新填充容器化学制品输送导管共线；其中加压气体块包括：(i)一个第一加压气体块连接接头，适于接收一种惰性气体，(ii)至少一根加压气体块气体导管，(iii)一个加压气体块截止阀，连接在所述第一加压气体块连接接头与所述加压气体块气体导管之间，(iv)一个加压气体块调节器，连接在所述第一加压气体块连接接头与所述加压气体块气体导管之间，(v)一个加压气体块过滤器，连接在所述第一加压气体块连接接头与所述加压气体块气体导管之间，(vi)一个第一加压气体块压力传感器，连接在所述第一加压气体块连接接头与所述加压气体块气体导管之间，及(vii)一个加压气体块单向阀，连接在所述第一加压气体块连接接头与所述加压气体块气体导管之间，以及其中至少一个加压气体块气体导管包括：一个第二加压气体块连接接头，适于连接到一个整体块上，一个加压气体块针阀，可选择地连接在所述第二加压气体块连接接头与所述单向阀之间，一个加压气体块控制阀，连接在所述第二加压气体块连接接头与所述加压气体块单向阀之间，及一个第二加压气体块压力传感器，连接在所述第二加压气体块连接接头与所述加压气体块单向阀之间；其中清洗气体块包括：(i)一个第一清洗气体连接接头，适于连接到一个第一整体块上，(ii)至少一根清洗气体导管，(iii)一个清洗气体截止阀，连接在第一清洗气体连接接头与清洗气体导管之间，(iv)一个压力调节器，连接在第一清洗气体连接接头与清洗气体导管之间，(v)一个清洗气体过滤器，连接在第一清洗气体连接接头与清洗气体导管之间，(vi)一个清洗气体控制阀，连接在第一清洗气体连接接头与清洗气体导管之间，(vii)一个清洗气体单向阀，连接在第一清洗气体连接接头与清洗气体导管之间，(viii)一个清洗气体压力传感器，连接在第一清洗气体连接接头与清洗气体导管之间，及(ix)一个清洗气体流动限制小孔，绕清洗气体控制阀连接，以及其中清洗气体导管包括：至少一个第二清洗气体连接接头，适于连接到一个第二清洗气体整体块上，和至少一个清洗气体控制阀，连接在第一清洗气体连接接头与第二清洗气体连接接头之间；其中废物回收块包括：(i)一个第一废物回收连接接头，适于接收来自至少一个整体块的废物，(ii)一个密封的废物回收容器，(iii)一个废物回收进口，连接在密封的废物回收容器与第一废物回收连接接头之间，(iv)一个第二废物回收连接接头，适于连接到一个整体块上，(v)一根废物排放管，连接在密封的废物回收容器与第二废物回收连接接头之间，(vi)一个第一废物回收控制阀，连接在废物进口与废物排放管之间，及(vii)一个废物回收料位指示器，用来监视在密封的废物回收容器中的料位，以及其中废物进口包括：一个第二废物回收控制阀，连接在第一废物回收连接接头与密封的废物回收容器之间，一个第一废物回收容器接头，连接在第一废物回收连接接头与密封的废物回收容器之间，及一个第一废物回收截止阀，连接在第一废物回收连接接头与密封的废物回收容器之间，以及其中废物排放管包括：一个第二废物回收截止阀，连接在第二废物回收连接接头与密封的废物回收容器之间，一个第二废物回收容器接头，连接在第二废物回收连接接头与密封的废物回收容器之间，及一个第三废物回收控制阀，连接在第二废物回收连接接头与密封的废物回收容器之间；其中真空块包括：(i)一个真空发生器，(ii)一个第一真空块控制阀，与真空发生器共线，及(iii)至少一根真空导管，适于提供真空，并且与真空发生器共线，以及其中真空导管包括：一个真空块连接接头，适于连接到至少一个整体块上，及一个第二真空块控制阀，连接在连接接头与真空发生器之间；其中溶剂供给块包括：(i)一个第一溶剂供给连接接头，适于连接到一个第一整体块上，(ii)一个密封的溶剂供给容器，(iii)一个加压溶剂供给气体进口，连接在第一溶剂供给连接接头与密封的容器之间，(iv)一个第二溶剂供给连接接头，适于连接到一个第二整体块上，(v)一个溶剂供给输送出口，连接在第二连接接头与密封的容器之间，(vi)一个溶剂供给控制阀，连接在溶剂供给加压气体进口与溶剂供给输送出口之间，及(vii)一个溶剂供给料位指示器，用来监视在密封的容器中的料位，其中加压气体进口包括：一个第一溶剂供给容器接头，连接在第一连接接头与密封的容器之间，一个第二控制溶剂供给阀，连接在第一溶剂供给连接接头与密封的溶剂供给容器之间，及一个第一溶剂供给截止阀，连接在第一溶剂供给连接接头与密封的溶剂供给容器之间，以及其中溶剂供给输送出口包括：一个溶剂供给浸入管，带有延伸到密封的容器中的一端，一个第二溶剂供给截止阀，连接在密封的溶剂供给容器与第二溶剂供给连接接头之间，一个第二溶剂供给容器接头，连接在密封的溶剂供给容器与第二溶剂供给连接接头之间，一个第三溶剂供给控制阀，连接在密封的溶剂供给容器与第二溶剂供给连接接头之间，及一个第四溶剂供给控制阀，连接在密封的溶剂供给容器与第二溶剂供给连接接头之间；其中脱气块包括：(i)一个第一脱气块连接接头，适于连接到一个整体块上，(ii)一个第二脱气块连接接头，适于连接到一个整体块上，(iii)一根脱气块化学制品进口导管，包括一个第一脱气块截止阀，并且连接在第一脱气块连接接头与第二脱气块连接接头之间，(iv)一个隔膜筒，连接在第一脱气块连接接头与第二脱气块连接接头之间，(v)一根脱气块化学制品出口导管，包括一个第二脱气块截止阀，并且连接在第一脱气块连接接头与第二脱气块连接接头之间，及(vi)一个脱气块控制阀，连接在隔膜筒与第二脱气块连接接头之间；以及其中过滤块包括：(i)一个第一过滤块连接接头，适于连接到一个第一整体块上，(ii)一个第二过滤块连接接头，适于连接到一个第二整体块上，及(iii)至少一根过滤导管，连接在第一过滤块连接接头与第二过滤块连接接头之间，其中过滤导管包括：一个第一过滤块截止阀，连接在第一过滤块连接接头与第二过滤块连接接头之间，一个过滤器，连接在第一过滤块连接接头与第二过滤块连接接头之间，及一个第二过滤块截止阀，连接在第一过滤块连接接头与第二过滤块连接接头之间。