[发明专利]保护运送装置

摘要

一种保护运送装置，包含一个盖子和一个底座，其通过一个锁紧装置保持在一起。该底座可设置成保持和保护位于储存匣内的半导体晶片或具有晶片的薄膜支架。该底座包含一个锁紧件以及一个限定存储匣的支撑壁。该盖子密封存储匣。一个或两个盖子可容纳用于握紧的凹槽。该盖子可接纳一个或多个防振锁紧孔，锁紧孔具有较窄的锁紧区，其开口优选为“T”形。锁紧件通过T形开口的水平杆部分接合所述盖，当锁紧件移动到T形开口的下支中时，可以脱开接合。本发明的运送装置可以在一通过使用可相互交换的模具插件能够生产运送装置的薄膜支架或晶片容纳结构的模具中制造。

主权项

1、一种用于半导体晶片的承载器，包含：一个底座，其具有一个周边，该周边带有至少一支撑壁，该支撑壁在该周边内向上延伸，并在该至少一支撑壁内限定了一个存储匣，该底座包括位于该周边和支撑壁之间的至少一弹性锁紧件，弹性锁紧件具有一带有一钩状部分的向上延伸的直立部分，该钩状部分具有一个面向下的接合面，一个盖，其具有一个周边，该周边带有至少一个侧壁，该侧壁在该周边内向下延伸，所述盖可设于所述底座上以封闭所述存储匣，所述盖包括限定至少一锁紧孔的结构，该锁紧孔带有一用于容纳与锁紧孔相邻的面向下的接合面的支撑面，该锁紧孔位于该周边和该至少一侧壁之间，并对应于至少一锁紧件之一，从而当至少一锁紧件与所述顶盖在至少一孔接合时，所述盖被锁定到所述底座上，以及，其中所述锁紧孔具有一与所述支撑面相邻的第一区域，和一与所述支撑面相对的第二区域，并具有一位于该第一区域和该第二区域之间的受限开口，该第一区域的尺寸允许所述锁紧件横向移动。