[发明专利]缺陷检查装置无效
| 申请号： | 02818456.4 | 申请日： | 2002-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN1556920A | 公开（公告）日： | 2004-12-22 |
| 发明（设计）人： | 内木裕;田中利彦 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H01L21/66;H01L21/68 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检查装置，包括：移动机构，使试料在检查位置上以一定的速度至少向一个方向直线移动；照明机构，对由该移动机构移动的所述试料的表面和背面进行照明；拍摄机构，在以所述一定的速度移动被该照明机构照明的所述试料的同时，对所述试料的整个的表面和背面进行拍摄；以及检查机构，对由所述拍摄机构取入的所述试料的整个的表面和背面的图像数据进行图像处理，对所述试料的表面和背面的缺陷进行检查。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检查装置，其特征在于，包括：移动机构，使试料在检查位置上以一定的速度至少向一个方向直线移动；照明机构，对由该移动机构移动的所述试料的表面和背面进行照明；拍摄机构，在以所述一定的速度移动被该照明机构照明的所述试料的同时，对所述试料的整个的表面和背面进行拍摄；以及检查机构，对由所述拍摄机构取入的所述试料的整个的表面和背面的图像数据进行图像处理，对所述试料的表面和背面的缺陷进行检查。
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