[发明专利]检查装置及检查方法

摘要

本发明的目的在于提供一种其采用简单结构可准确且容易地检测电路布线的状况的电路布线的检查装置。检查系统(20)，在实际检查前预先就标准的电路图案的全部电路布线进行图象数据的取出作为标准电路图案(目标数据)予以录入(图14)，将实际的检查对象的电路布线的检测结果与目标数据之间用最小二乘法进行比较(S167)，并求得它们之间的相关值判定检查对象电路布线的状态(S168)，在显示器21a上显示出来(S169)以便显示出比较结果的与目标数据不同的部分。

主权项

1.一种检查装置，用以检查电路基板上的电路布线，其特征在于，具有：供给机构，对于上述所欲检查的电路布线供给检查信号；检测机构，可使用多个传感器元件来检测供给有上述检查信号的电路布线上的电位变化；标准图案录入机构，使用上述供给机构将上述检查信号供给至标准电路布线上，并由上述检测机构的传感器元件检测电位变化然后再利用检测出该电位变化的传感器元件的位置信息，来预先生成、录入表示上述标准电路布线的形状的标准图像数据；图像数据生成机构，使用上述供给机构将上述检查信号供给至检查对象电路布线上，并且由上述检测机构的传感器元件检测电位变化，然后再利用检测出该电位变化的传感器元件的位置信息，来生成表示上述检查对象电路布线形状的图像数据；检查机构，对上述图像数据生成机构生成的图像数据，以及与录入于上述标准图案录入机构内的上述检查对象电路布线所对应的标准图像数据进行比较，以检查上述检查对象电路布线。