[发明专利]正感光性聚酰亚胺树脂组合物

摘要

本发明提供一种在碱性水溶液显像时，无膜损耗、溶胀和剥离、固化后得出尺寸稳定性高的图案，最终固化膜的吸水率低、耐碱性优异的正感光性树脂组合物。该正感光性聚酰亚胺树脂组合物具有如下特征：含有具有通式(1)所示重复单元的有机溶剂可溶性聚酰亚胺、具有通式(2)所示重复单元的聚酰胺酸和通过光产生酸的化合物。式中，m、n为3以上、10000以下的整数，R¹、R³为4价的有机基团，R²、R⁴为10 2价的有机基团，并且R²的5－100摩尔%为具有氟的2价有机基团。

主权项

1.正感光性聚酰亚胺树脂组合物，其特征在于，含有具有通式(1)所示重复单元的有机溶剂可溶性聚酰亚胺、具有通式(2)所示重复单元的聚酰胺酸和通过光产生酸的化合物，式中，m、n为3以上、10000以下的整数，R¹、R³为4价有机基团，R²、R⁴为2价有机基团，并且R²的5-100摩尔％为具有氟的2价有机基团。