[发明专利]电渗微通道冷却系统

摘要

本发明所涉及的设备和方法最好使用电渗泵，所述电渗泵能够在不移动机械部分、不连带产生不能接受的电噪声和声噪声以及不连带降低可靠性的情况下产生高压和高流速。这些电渗泵最好用与目前可用微型泵相比在性能、效率以及降低重量和制造成本方面有所改进的材料和结构制造。这些电渗泵最好可用于逸出气体或沉积物的收复，这可用于长期的闭环操作。本发明所涉及的设备和方法还可通过对于流过泵的流体进行电控制而允许对装置的温度进行主动调节并且可使用多个冷却环以允许装置温度分布曲线的专门和瞬时特性的独立调节。还描述了新型微通道结构。

主权项

1.一种用于放热装置的冷却系统，所述冷却系统利用具有液相的流体工作，所述冷却系统包括：衬底，所述衬底包括设置在其中的至少一部分微通道，所述衬底适于与放热装置物理连接，从而使热能从放热装置传递到衬底，并且使热能从衬底进一步传递到设置在微通道内的流体，微通道被构造成使流体流过其中；热交换器，所述热交换器被构造成使流体流过其中，并允许从热交换器传递热能；电渗泵，所述电渗泵产生流体流；以及其中所述衬底、热交换器和电渗泵被构造成利用开环流体流一起工作。