[发明专利]负作用水性光刻胶组合物有效
| 申请号： | 02818896.9 | 申请日： | 2002-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN1559023A | 公开（公告）日： | 2004-12-29 |
| 发明（设计）人： | 卢炳宏;M·O·尼斯尔;R·R·达米尔;吴恒鹏 | 申请（专利权）人： | 科莱恩金融(BVI)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 英属维尔京*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包含聚乙烯醇缩醛聚合物，水溶性光活性化合物，和交联剂的新型负性的水性光刻胶组合物。所述水溶性光活性化合物优选锍盐。本发明还涉及由该新型光刻胶组合物形成反像的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 作用 水性 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种负性的水性光刻胶组合物，该组合物包含：(a)含有至少一种结构(1)单元的聚合物，![]()
其中R1表示氢或(C1-C4)烷基，n＝1～4；(b)水溶性光活性化合物；(c)交联剂；和(d)溶剂组合物。
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