[发明专利]用于超高频微机电谐振器的中心质量减小的微桥梁结构无效
| 申请号： | 02819241.9 | 申请日： | 2002-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1613180A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 鹏·程;晴·马 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H03H3/013 | 分类号： | H03H3/013 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一种微机电(MEM)谐振器，包括衬底、耦合到所述衬底的微桥梁结构以及至少一个电极，所述电极邻近所述微桥梁结构被布置，以引起所述梁的振动。所述微桥梁结构包括支撑部分和形成在所述支撑部分之间的梁。所述梁的中心区域的质量小于邻近所述支撑部分的所述梁的区域的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 超高频 微机 谐振器 中心 质量 减小 桥梁 结构 | ||
【主权项】：
1.一种微机电谐振器，包括：衬底；耦合到所述衬底的微桥梁结构，所述微桥梁结构包括支撑部分和形成在所述支撑部分之间的梁，其中，所述梁的中心区域的质量小于所述梁邻近所述支撑部分的区域的质量；和邻近所述微桥梁结构布置的至少一个电极，以引起所述梁的振动。
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