[发明专利]末端操纵器组件

摘要

一般地，提供了一种用于衬底转移机械手的末端操纵器组件。在一个实施例中，用于衬底转移机械手的末端操纵器组件包括末端操纵器，该末端操纵器具有位于其上的多个金属垫。聚合物垫位于每个金属垫之上，其中金属垫上表面的暴露部分与聚合物垫顶表面之比至少约为3.5比1。在另一个实施例中，用于衬底转移机械手的末端操纵器组件包括末端操纵器，该末端操纵器具有位于其上的多个聚合物垫。每个聚合物垫包括至少位于聚合物垫的顶表面上的含氟聚合物涂层。金属垫和/或涂层允许聚合物垫在应用中至少暂时地在其正常操作温度之上使用。

主权项

1.一种用于衬底转移机械手的末端操纵器组件，包括：末端操纵器；多个具有上表面和下表面的金属垫， 所述下表面位于所述末端操纵器的第一侧面上；和位于每个金属垫上的聚合物垫，所述聚合物垫具有顶表面和底表面，其中所述金属垫上表面的暴露部分与所述聚合物垫顶表面之比是至少约3.5比1。