[发明专利]通过火焰水解法制备的用二价金属氧化物掺杂的氧化铝及其水分散体无效
| 申请号： | 02819706.2 | 申请日： | 2002-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN1564784A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 沃尔夫冈·洛茨;依娜·黑默;克里斯托夫·巴茨－佐恩;马丁·默特斯;赫伯特·哈伯曼;乌韦·迪纳 | 申请（专利权）人： | 德古萨股份公司 |
| 主分类号： | C01F7/02 | 分类号： | C01F7/02;C01F7/16;C01F7/30;C09K3/14;C09G1/02;H01L21/306;H01L21/321 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 德国杜塞*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 掺杂有二价金属氧化物的氧化铝，其是通过火焰水解法制备的，并且其在X射线衍射图中没有可检测出的尖晶石结构或α－氧化铝。其通过热解方法制备，其中在卤化铝的火焰水解过程中，将含有二价金属盐水溶液的气溶胶加入到气体混合物中。所述掺杂的氧化铝可用于化学－机械抛光的水分散体中。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 火焰 水解 法制 二价 金属 氧化物 掺杂 氧化铝 及其 水分 散体 | ||
【主权项】：
1.通过火焰水解法制备的用二价金属氧化物掺杂的氧化铝，其在X射线衍射图中没有可检测出的尖晶石结构或者α-氧化铝。
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