[发明专利]蚀刻终止树脂无效
| 申请号： | 02820956.7 | 申请日： | 2002-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN1575310A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | R·博伊斯维特;S·格里戈拉斯;D·哈;B·哈克尼斯;C·耶克尔 | 申请（专利权）人： | 陶氏康宁公司 |
| 主分类号： | C08G77/12 | 分类号： | C08G77/12;C09D183/04;H01L21/312 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 含5－50mol％(PhSiO (3－x)/2 (OH) x)单元和50－95mol％(HSiO (3－x)/2(OH) x)的硅氧烷树脂，其中Ph是苯基，且x的值为0、1或2；和其中该固化的硅氧烷树脂的临界表面自由能为30dyn/cm或更高。这些树脂用作临界表面自由能为40dyn/cm或更高的有机介电材料的蚀刻终止层。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 终止 树脂 | ||
【主权项】：
1.硅氧烷树脂，包括5-50mol％(PhSiO(3-x)/2(OH)x)单元和50-95mol％(HSiO(3-x)/2(OH)x)单元，基于树脂内含硅单元的总量，其中Ph是苯基，且x的值为0、1或2。
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