[发明专利]用于集成光路的机械射束控制有效

专利信息
申请号: 02821167.7 申请日: 2002-09-30
公开(公告)号: CN1575427A 公开(公告)日: 2005-02-02
发明(设计)人: A·J·蒂克纳 申请(专利权)人: 光波微系统公司
主分类号: G02B6/00 分类号: G02B6/00;G02B6/36;G02B6/12
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 沙捷
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 公开了一种具有机械射束控制的光路。机械射束控制可以减小例如阵列波导管的光路的热敏度。同时公开了用于制造采用机械射束控制的集成光路的方法。
搜索关键词: 用于 集成 机械 控制
【主权项】:
1.一种集成光路,其包括:在基板上具有波导管的第一区域,其具有第一热膨胀系数;在基板上具有波导管的第二区域,其具有第二热膨胀系数;光学上连接第一区域波导管和第二区域波导管的透镜;以及位于第一区域和第二区域的膨胀块,其具有第三热膨胀系数;其中第三热膨胀系数不同于第一热膨胀系数,同时第三热膨胀系数不同于第二热膨胀系数。
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