[发明专利]清洗组合物无效
申请号: | 02821177.4 | 申请日: | 2002-10-23 |
公开(公告)号: | CN1575331A | 公开(公告)日: | 2005-02-02 |
发明(设计)人: | 板野充司;毛塚健彦 | 申请(专利权)人: | 大金工业株式会社 |
主分类号: | C11D7/10 | 分类号: | C11D7/10;C11D7/50;H01L21/304;H01L21/308;//G03F7/42 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 樊卫民;杨青 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种清洗组合物,其特征为含有(1)从羟基胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐组成的组中选出的至少1种与氟氢酸形成的氟化物盐和二氟化物盐中的至少1种;(2)至少1种具有杂原子的有机溶剂;和(3)水。 | ||
搜索关键词: | 清洗 组合 | ||
【主权项】:
1.一种清洗组合物,其特征在于,含有(1)从羟基胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐组成的组中选出的至少1种与氢氟酸形成的氟化物盐和二氟化物盐中的至少1种;(2)至少1种具有杂原子的有机溶剂;和(3)水。
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