[发明专利]晶片支座倾斜机构和冷却系统无效
| 申请号： | 02821195.2 | 申请日： | 2002-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN1575504A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | A·维德;R·费斯 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶片垫组件，可将其用在离子植入装置中，用于安装和冷却晶片。所述晶片垫组件包括一个晶片支撑垫，它具有一个用于安装晶片的上表面，和一个下表面。所述晶片支撑垫的下表面与一个冷却剂通道连接，该通道具有相对安装的入口部分和出口部分，其中，所述入口部分是通过所述出口部分平衡的，其下表面与一个支架连接，该支架具有弧形外表面，以便与一个壳体的具有互补形状的支撑表面配合接合，其中，所述晶片可以绕一个轴线倾斜或转动。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 支座 倾斜 机构 冷却系统 | ||
【主权项】：
1.一种晶片平台，它被安装在离子植入装置内，并且包括至少一个用于安装和冷却晶片的晶片垫组件，所述晶片垫组件包括：一个晶片支撑垫，它具有一个用于安装所述晶片的上表面，和一个下表面，所述晶片支撑垫的下表面与具有一个入口部分和一个出口部分的相对安装的冷却剂通道连接，其中，所述入口部分的质量是通过所述出口部分的质量平衡的。
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