[发明专利]剥离抗蚀剂的方法有效
| 申请号： | 02821688.1 | 申请日： | 2002-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1578932A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 清水英贵;松永裕嗣;大户秀;池本一人 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在本发明的抗蚀剂剥离方法中，在氧气比例为2％体积或更低的氛围中，使具有残留抗蚀剂层的布线基质与抗蚀剂剥离组合物接触。优选在用过氧化氢预处理残留的抗蚀剂层之后除去抗蚀剂。在本发明的抗蚀剂剥离方法中优选使用含胺化合物、溶剂、强碱和水的抗蚀剂剥离组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 抗蚀剂 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离方法，它包括下述步骤：在含比例为2％体积或更低的氧气的氛围中，使在蚀刻后具有残留抗蚀剂层的布线基质与抗蚀剂剥离组合物接触。
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