[发明专利]高频检测方法及高频检测电路

摘要

本发明的高频检测电路，在将具有第一频率(f)的第一高频功率与具有比第一频率(f)低的第二频率(f1)的第二高频功率向一个负载(7)供给的高频电源装置中，用于检测有关第一高频功率的信息，由方向性耦合器(12)，检测作为具有第一频率(f)的第一高频信号与具有第二频率(f1)的第二高频信号的混合信号的第三高频信号(V1)，采用外差方式将其第三高频信号(V1)变换成具有第一以及第二频率(f、f1)之间的第三频率(Δf)的第四高频信号(V1’)，根据该第四高频信号(V1’)检测第一频率(f)的前进波功率(Pf)。

主权项

1.一种高频检测方法，在将具有第一频率(f)的第一高频功率与具有比第一频率(f)低的第二频率(f1)的第二高频功率向一个负载(7)供给的高频电源装置中，用于检测有关所述第一高频功率的信息，其特征在于，包含：第一步骤，在所述高频电源装置的规定节点，检测作为具有所述第一频率(f)的第一高频信号与具有所述第二频率(f1)的第二高频信号的混合信号的第三高频信号(V1)；第二步骤，生成具有从所述第一频率(f)向高频侧或低频侧仅偏离所述第一以及第二频率(f、f1)之间的第三频率(Δf)后的频率(f+Δf)的基准信号(VR)；第三步骤，生成由所述第一步骤检测的第三高频信号(V1)和由所述第二步骤生成的基准信号(VR)的混合信号(V1×VR)；第四步骤，从由所述第三步骤生成的混合信号(V1×VR)抽出具有所述第三频率(Δf)的第四高频信号(V1’)；以及第五步骤，根据由所述第四步骤抽出的第四高频信号(V1’)，检测有关所述第一高频功率的信息(Pf)。