[发明专利]补偿探针卡热导运动的方法和系统无效
| 申请号： | 02821947.3 | 申请日： | 2002-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1582395A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | B·N·埃尔德里奇;G·W·格鲁贝;K·S·松林;R·A·拉德;M·S·欣德;G·L·马蒂厄;R·马滕斯 | 申请（专利权）人： | 佛姆费克托公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种用于补偿用于测试晶片上晶模的探针卡的热导运动的方法和系统。揭示了一种合并有温度控制装置以维持整个探针卡厚度上的温度均衡的探针卡。揭示了一种合并有双材料加固组件或成形记忆体的探针卡，该探针卡能对温度变化做出wich反应，以便抵消探针卡产生的热导运动，其包括滚动组件、狭槽以及润滑。也揭示了允许探针卡径向扩展以防止探针卡热导运动的各种构件。还揭示了一种用来检测探针卡热导位移并且移动晶片以进行补偿的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 探针 卡热导 运动 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种装置，其包括：一用于检测一晶片晶模的探针卡；一位于所述探针卡邻近部分的所述能量传输装置；其中所述能量传输装置利用传输的能量有选择性地偏转所述探针卡的一部分，以便有选择性地控制所述探针卡的几何平面。
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