[发明专利]单个晶片的干燥装置和干燥方法

摘要

本发明一方案提供一种用于处理晶片的组件，此组件包含具有一个或更多个特征的处理部分，这些特征可以包含例如(1)可转动晶片支持器，用于转动输入晶片由第一定向转动到第二定向，在第一定向上的晶片对齐于负载端口，到了第二定向上的晶片系对齐于卸载端口；(2)捕获器，用于接触并在晶片由处理部分卸载时，与晶片一起被动地移动；(3)一被围体围绕的输出部分，用于产生一个流动的空气气流，由一侧流到另一侧；(4)一输出部分，具有多个晶片接收器；(5)没入的液体喷嘴；以及/或者(6)干燥蒸气流变流装置等。本发明的其它方案包含晶片的处理方法。

主权项

1.一种用于处理晶片的组件，该组件至少包含一处理部分，该处理部分包含：一负载端口，晶片可以被该负载端口降低进入该处理部分；一卸载端口，其由该负载端口进行水平置换，使得该晶片可以在该卸载端口上被举高而离开该处理部分；以及一可转动晶片的支持器，用于转动输入晶片由第一定向转到第二定向，当该输入晶片具有该第一定向时，是与该负载端口对齐，当该输入晶片具有该第二定向时，是与该卸载端口对齐。