[发明专利]具有清洁功能的原料液供应装置有效
| 申请号： | 02822553.8 | 申请日： | 2002-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN1585676A | 公开（公告）日： | 2005-02-23 |
| 发明（设计）人： | J－M·吉拉德;O·勒泰西耶;M·克木拉;A·那苏 | 申请（专利权）人： | 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具有监督和管理委员会的有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B9/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种原料液供应装置，它可避免将原料液和/或清洁流体产生的残留物残留在原料液供应管道和原料容器之间的接头或连接区域附近。流动切换机构Vc与该原料液供应装置(20)的原料容器(22)相连。该流动切换机构Vc具有与原料容器(22)的排出口管道(24)相连的第一口(23)、与供应管道(16)相连的第二口(34)和与排泄管道(25)相连的第三口(35)。可通过位于设置在公共室(38)内的膜片(42)上的阀元件(43)来关闭第一口(33)，同时使第二口(34)与第三口(35)之间保持连通。清洁流体源(55)和清洗气体源(57)与供应管道(16)相连。供应到供应管道(16)中的清洗气体和清洁流体可通过排泄管道(25)排出第二口(34)和第三口(35)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 清洁 功能 原料 供应 装置 | ||
【主权项】：
1、一种原料液供应装置，其特征在于：该原料液供应装置具有：一个盛有原料液的密封原料容器，其具有一个用于输出所述原料液的排泄口和一个用于引入加压气体以便对所述原料液进行压力输送的加压口；一个用于将前述加压气体供应到原料容器中的加压气体管道，其中，所述加压气体管道与前述的加压口和加压气体源相连；一个与前述排泄口相连的流动切换机构，其具有第一口，所述第一口与所述排泄口相连；第二和第三口，其通过中间流动通道相互连接并与第一口相连；以及一个阀元件，其可产生隔离状态，其中，第一口与第二和第三口之间切断连通，而第二与第三口之间保持连通；一个用于将第二口连接到预定设备上以便将前述原料液供应给所述设备的供应管道；一个用于连接前述供应管道和清洁流体源以便将清洁流体供应给供应管道的清洁流体管道；一个用于将供应管道连接到清洗气体源以便将清洗气体供应给供应管道的清洗气体管道；和一个与所述第三口相连的排泄管道，当处于前述隔离状态时，其用于排泄已进入供应管道中的清洁流体和清洗气体，其中，所述的排泄经过前述第二口、中间流动通道和第三口。
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