[发明专利]充填衬底中凹坑的方法无效
| 申请号： | 02822722.0 | 申请日： | 2002-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1589177A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·莫尔曼 | 申请（专利权）人： | 代尔夫特工业大学 |
| 主分类号： | B01L11/00 | 分类号： | B01L11/00;B01L3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 朱德强 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种充填衬底中凹坑(包括通路)的方法。根据本发明液体被施加到包括凹坑的衬底的不与凹坑重合的位置上，同时在凹坑充填之后用一种覆盖装置密封，其中液体被施加到覆盖装置的前面与不被覆盖装置遮盖的凹坑之间，同时借助于覆盖装置该液体被推入凹坑中。 | ||
| 搜索关键词： | 充填 衬底 中凹坑 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用液体充填凹坑的方法，其中液体被施加到包括凹坑的衬底的不与凹坑重合的位置上，在充填之后凹坑被一覆盖装置密封，其特征在于—为充填凹坑，将液体施加到位于第二位置和未被覆盖装置遮盖的凹坑之间的第一位置上，该第二位置是施加到衬底上的覆盖装置前侧所处的地方，—覆盖装置的前侧在被施加的液体和凹坑的方向被移动，因而带着正在充填凹坑的液体以其一道，及—在覆盖装置的前侧已移过凹坑之后，该覆盖装置移入第三固定位置以便密封液体充填了的凹坑。
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