[发明专利]半导体装置无效

专利信息
申请号: 02822917.7 申请日: 2002-11-18
公开(公告)号: CN1589498A 公开(公告)日: 2005-03-02
发明(设计)人: 平野博茂;山冈邦吏 申请(专利权)人: 松下电器产业株式会社
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108;H01L21/8242;H01L27/10
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 包于俊
地址: 日本国大*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的半导体装置,在形成于半导体基板上的第1配线层中,相邻的配线按照第1配线、第1屏蔽配线的顺序排列,而且在半导体配线基板上形成的第2配线层中,相邻的配线分别按照第2屏蔽配线、第2配线的顺序排列,以与第1配线层的第1配线、第1屏蔽配线分别对应,从而能够使相邻配线的配线间电容降低,而且也能够降低相邻配线之间的噪声,能够不降低信号的动作速度,而且又减少电力消耗。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,具有在第1配线层中,第1配线、第2配线,第3配线、以及第4配线形成于第1方向,在所述第1配线层的上层的第2配线层中,第5配线、第6配线、第7配线、以及第8配线形成于所述第1方向,并且,从上面看,所述第5配线、第6配线,第7配线、以及第8配线与所述第1配线、第2配线,第3配线、以及第4以大致没有重叠的结构形成的配线结构。
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