[发明专利]涂覆腹板状材料的真空涂覆设备

摘要

本发明是关于在加工室中涂覆腹板状材料(6)的真空涂覆设备，其中，具第一辊框架(11)的松卸装置被放置于第一可排空卷筒室(2)，且具第二辊框架(12)的卷缠装置(5)被放置于第二可排空卷筒室(3)，其中该腹板状材料横过在所述装置之间的至少一可排空加工室(1)，其中冷却辊(15、16)被放置于具该腹板状材料的导引装置加工辊框架(14)，其中至少一磁控溅镀源(17)被放置于其表面。本发明具加强所有参与该方法的辊的平行精确性的目的，此可被达到因为该松卸辊框架、该加工辊框架及该卷缠辊框架被固定于已知点(18、19、20、21)及因为当设备在操作时及/或共同辊框架被构型用于数个冷却辊，在卷筒室及该加工室间的最大压力差50帕斯卡。

主权项

1.一种在加工室中涂覆腹板状材料的真空涂覆设备，在此情况下，要被涂覆的该腹板状材料的经插入松卸卷筒的松卸装置被放置于第一可排空卷筒室的第一轧制机，且要被涂覆的材料的可抽出卷缠卷筒的卷缠装置被放置于第二可排空卷筒室的第二轧制机，要被涂覆的腹板状材料横过在所述装置之间的至少一可排空加工室，在每一加工室内放置的是加工轧制机，其具该腹板状材料的导引装置，及冷却辊，至少一磁控溅镀源被放置于其表面，其特征在于，用于该松卸卷筒(4)的该轧制机(11)被系牢于在该第一卷筒室(2)的第一系牢点(18)，该加工轧制机(14)被系牢于在该加工室(1)的第二及第三系牢点(19；20)及用于该卷缠卷筒(5)的轧制机(12)被系牢于该在第二卷筒室(3)的第四系牢点(21)，其中，在该设备的操作状态，在卷筒室(2；3)及该加工室(1)间的压力差为至多50帕斯卡。