[发明专利]成像设备有效
| 申请号： | 02823560.6 | 申请日： | 2002-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1596387A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | K·D·范德马斯特;A·J·布利克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;张志醒 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种成像设备，包括：提供辐射的投影束的辐射系统；支承可编程的图形化装置的支承结构，该可编程的图形化装置用于根据所需的图形对投影束进行图形化；保持衬底的衬底台；将经图形化的束投影到衬底的目标部分上的投影系统，其中该设备进一步包括：分束装置(BS)，提供在可编程的图形化装置(PM)和衬底台之间，用于将经图形化的束(PB)的一部分(PB′)转向到旁边；用于分析经图形化的束的所说的部分的图像检测装置(ID)。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 设备 | ||
【主权项】：
1.一种成像设备，包括：-用于提供辐射的投影束的辐射系统；-支承可编程的图形化装置的支承结构，该可编程的图形化装置用于根据所需的图形对投影束进行图形化；-保持衬底的衬底台；-将经图形化的束投影到衬底的目标部分上的投影系统，其特征在于该设备进一步包括：-分束装置，提供在可编程的图形化装置和衬底台之间，用于将经图形化的束的部分转向到旁边；-用于分析经图形化的束的所说的部分的图像检测装置。
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