[发明专利]薄膜微型机械式谐振器、薄膜微型机械式谐振器陀螺仪、使用该薄膜微型机械式谐振器陀螺仪的导航系统及汽车

摘要

本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上，分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。

主权项

1.一种薄膜微型机械式谐振器，其特征是，包括：(a)具有至少2个臂和连接所述臂的至少1个基部的、由非压电材料制成的音叉，(b)设于所述臂中的至少一个臂的至少1个主平面上、比其中心线更靠内侧的位置上的第1电极，(c)设于所述至少一个主平面上的比所述中心线更靠外侧的位置上、并与所述第1电极分离的第2电极，(d)设于所述第1电极上的第1压电薄膜，(e)设于所述第2电极上的第2压电薄膜，(f)设于所述第1压电薄膜上的第3电极，(g)设于所述第2压电薄膜上的第4电极；通过在所述第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，所述音叉就会以与所述中心线成直角的方向(X方向)作为谐振方向进行谐振。