[发明专利]陶瓷加热器无效
| 申请号： | 02823814.1 | 申请日： | 2002-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1596557A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 伊藤康隆 | 申请（专利权）人： | 揖斐电株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/18 | 分类号： | H05B3/18;H05B3/14;H05B3/20;C04B35/52;C04B35/56;H01L21/02;H01L21/68;H05B3/74 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及在陶瓷基板的内部设置了加热电阻的陶瓷加热器，其特征为，所述加热电阻由导电性陶瓷构成，并且加热电阻中至少在表面存在含烧结助剂层。该加热器即使在伴有急速升温时也不产生裂纹，具有加热均匀、升温速度快的效果，并且可被用于包含静电吸盘及等离子发生装置的半导体制造－检查装置、光学装置等工业范围。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 加热器 | ||
【主权项】：
1、陶瓷加热器，其是在陶瓷基板的内部具有加热电阻的陶瓷加热器，其特征为，所述加热电阻是由导电性陶瓷构成的，并且加热电阻中至少在表面存在含烧结助剂层。
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