[发明专利]使用干涉测量法进行对齐的方法有效
| 申请号： | 02824176.2 | 申请日： | 2002-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1599860A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 托比乔恩·桑德斯特罗姆 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明总地来讲涉及工件上的对齐标记的检测。更具体讲，应用了干涉测量法来从诸如晶片或中间掩模这样的工件的表面上检测对齐信号。在具体实施方式部分、附图和权利要求书中反映出了本发明的其它方面。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 干涉 测量 进行 对齐 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测工件上的对齐标记的方法，包括下述步骤：将一辐射通过干涉仪照到所述工件的表面上，同时扫描所述对齐标记；利用从所述工件表面反射回来的辐射，采用相位调制产生复振幅信息；采集与所扫描到的对齐标记的复振幅信息相对应的数据。
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