[发明专利]均化器有效
申请号: | 02824304.8 | 申请日: | 2002-12-05 |
公开(公告)号: | CN1599874A | 公开(公告)日: | 2005-03-23 |
发明(设计)人: | 托比约恩·桑兹特罗姆 | 申请(专利权)人: | 麦克罗尼克激光系统公司 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G02B17/00;H01S3/10 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马高平;杨梧 |
地址: | 瑞典*** | 国省代码: | 瑞典;SE |
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摘要: | 本发明的一个方面包括一种用于使电磁辐射束均匀化的方法。所述电磁辐射束入射在第一阵列偏转元件上。所述电磁辐射束被所述第一阵列偏转元件分散成多个空间分离的小电磁辐射束。所述偏转小电磁辐射束入射在第二阵列偏转元件上。所述小电磁辐射束在目标平面处叠加,从而形成具有均匀空间强度分度的辐射束。本发明还涉及一种用于使电磁辐射束均匀化的设备。 | ||
搜索关键词: | 均化器 | ||
【主权项】:
1、一种用于使电磁辐射束均匀化的方法,包括:使所述电磁辐射束入射到一第一阵列偏转元件上,利用所述第一阵列偏转元件将所述电磁辐射束偏转成多个空间分离的小电磁辐射束,使所述偏转小电磁辐射束入射在一第二阵列偏转元件上,以及使来自所述第二阵列偏转元件的所述小电磁辐射束在一目标平面处叠加,从而形成一具有一均匀空间强度分布的辐射束。
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