[发明专利]等离子体产生装置和方法以及RF驱动器电路无效
| 申请号： | 02824545.8 | 申请日： | 2002-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN1602563A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | J·D·埃文斯;P·A·普日比尔 | 申请（专利权）人： | 等离子控制系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H01Q1/12 | 分类号： | H01Q1/12;H01J1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 龚海军;王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于产生高密度等离子体的方法和系统的部分的一种RF驱动电路和正交的天线组件/布置。该天线组件(105，115，110，120)是正交天线系统，该系统可以由具有适当阻抗匹配的任意RF产生器/电路系统(125，130)驱动来提供低输出阻抗。所公开的RF驱动电路使用开关类型放大器元件并且提供低输出阻抗。所公开的低输出阻抗RF驱动电路省略了对于干扰与等离子体相关的该固有阻抗变化的匹配电路。还公开了选择电容和电感值来提供用于该RF等离子体源的调谐。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 装置 方法 以及 rf 驱动器 电路 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体产生器系统，包括：至少一个等离子体源，包括等离子体源室，以及具有多个天线振子的天线，每个天线振子包括至少一个环，该环具有环轴，绕公共轴布置所述多个天线振子以便每个环轴基本上与所述公共轴正交，其中定位所述天线以便它可以在所述室内部形成电磁场，以及至少一个耦合到所述多个天线振子的射频电源。
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