[发明专利]点格栅阵列成像系统

摘要

本发明提供了一种高数据速率点格栅阵列成像系统，它可以补偿工作台的振动，而且可以克服现有技术系统的严格线性度要求问题。实施例包括具有二维周期性透镜阵列的成像系统，透镜阵列中的每个透镜将诸如要检验的半导体衬底的对象平面上的点成像到图像平面上，以成像二维周期性点阵列。利用二维周期性读出单元阵列，在共轭图像平面上设置传感器，每个读出单元从各点之一采集信号。机械系统使衬底在接近平行于点阵列的轴线的方向移动，使得在衬底在扫描方向(y方向)上在点阵列上移动时，点跟踪在机械交叉扫描方向(x方向)不存在间隙的轨迹。诸如伺服机构或可运动反射镜的补偿器补偿移动工作台的机械不精确性，从而提高成像精度。在其他实施例中，机械系统的运动使相邻行上的透镜阵列的透镜的覆盖区之间具有少量重叠，从而克服了现有技术的严格线性度要求问题，而且可以使用成本效益好的微透镜阵列。

主权项

1、一种成像器，其中包括：辐射源，用于同时辐照在要成像的对象表面上互相隔离开的点的阵列；检测器阵列，用于采集由该点与对象表面的相互作用而产生的信号，以形成对象表面上的辐照部分的图像；可运动工作台，用于支承对象，并这样移动对象，使得该对象表面上的预定部分可以被辐照并成像；以及补偿器，用于补偿可运动工作台的机械不精确性。