[发明专利]采用甲酸铜配合物的铜沉积方法无效
申请号: | 02824648.9 | 申请日: | 2002-12-12 |
公开(公告)号: | CN1602314A | 公开(公告)日: | 2005-03-30 |
发明(设计)人: | J·S·汤普森 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | C07F15/00 | 分类号: | C07F15/00;C23C18/00;B05D7/24;B05D1/18 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 郭煜;谭明胜 |
地址: | 美国特拉华*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及新的甲酸铜配合物和采用这些新铜配合物将金属铜向基底上或多孔固体材料中或其上的沉积。 | ||
搜索关键词: | 采用 甲酸 配合 沉积 方法 | ||
【主权项】:
1.组合物,其包含铜、与铜配位的两个甲酸根离子和两个经由氮与铜配位的芳族氮杂环配体,其中芳族氮杂环配体选自C10-C20烷基-取代的吡啶、C9-C20烷基-取代的吡唑、C9-C20烷基-取代的咪唑和C9-C20 烷基-取代的三唑,其中吡唑、咪唑和三唑配体的N1位是烷基取代的。
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