[发明专利]带有可选择地起作用的透气面的透气装置有效
申请号: | 02825147.4 | 申请日: | 2002-11-14 |
公开(公告)号: | CN1605020A | 公开(公告)日: | 2005-04-06 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·韦齐希 | 申请(专利权)人: | 因菲康有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 张兆东 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种带可选择地起作用的透气面(4)的透气装置,包括一配备大量透气孔(2)的由半导体材料组成的支承板(3)、一遮盖支承板(3)上的孔(2)的薄膜(5),它构成可选择地起作用的透气面(4),以及包括用于薄膜(5)调温的装置;为了简化已知的调温装置,建议,支承板(3)本身用作薄膜(5)的调温装置。 | ||
搜索关键词: | 带有 可选择 起作用 透气 装置 | ||
【主权项】:
1.带有可选择地起作用的透气面(4)的透气装置(1),包括一配备大量透气孔(2)的由半导体材料组成的支承板(3)、一遮盖支承板(3)中的孔(2)的薄膜(5),它构成可选择地起作用的透气面(4),以及包括用于薄膜(5)调温的装置,其特征为:支承板(3)本身用作薄膜(5)的调温装置。
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